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"ÇÑ¡¤ÀÏ °¥µî¿¡ ÀϺ» ±â¾÷ ºÎ´ãµµ °¡Áß¡¦ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·ÃÁß"

ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷µéÀÌ ÀÚ±¹ Á¤ºÎÀÇ Çѱ¹ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ °­È­¿¡ µû¸¥ ºÎ´ã °¡ÁßÀ» ¿ì·ÁÇØ ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù.

18ÀÏ Á¤º¸Åë½Å±âȹÆò°¡¿ø(IITP)¿¡ µû¸£¸é ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ È­ÀÌÆ®¸®½ºÆ®¿¡¼­ Çѱ¹À» ¹èÁ¦ Á¶Ä¡ÇÑ ÀÌÈÄ ÀϺ» ±â¾÷µµ ¼öÃâ °ü·Ã ¾÷¹«°¡ Å©°Ô Áõ°¡Çϸ鼭 Á¦3±¹À» ÀÌ¿ëÇØ ¿ìȸÀûÀ¸·Î ¼öÃâ È°·Î¸¦ ¸ð»öÇϱ⠽ÃÀÛÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

ÀϺ» ±â¾÷Àº Çѱ¹À¸·Î ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ ¼öÃ⠽ูÀº ÀýÂ÷¿Í ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÇ°í Á¤ºÎÀÇ ½ÂÀΠ¿©ºÎµµ ºÒÈ®½ÇÇÑ »óȲ¿¡ Á÷¸éÇϸ鼭 ¸ÅÃâ °¨¼Ò»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àå±âÀûÀ¸·Î ´ëÇü °Å·¡Ã³ »ó½ÇÀ̶ó´Â ºÒ¾È°¨ÀÌ Áõ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ µî Çѱ¹ ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÌ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®·¿¡Äª°¡½º¸¦ ºñ·ÔÇÑ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ Çٽɠǰ¸ñÀÇ °ø±Þó ´Ùº¯È­·±¹»êÈ­¿¡ ³ª¼± °Íµµ ÀϺ» ±â¾÷¿¡°Ô À§±â°¨À¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ °ÍÀ̶õ ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Â´Ù.

ÀÌ·± »óȲ¿¡¼­ ÀϺ» Á¤ºÎ´Â ¼öÃâ ±ÔÁ¦ °­È­ Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ ¾à ÇÑ´Þ ¸¸ÀΠÁö³­ 7ÀÏ ½Å¿¡¾²È­ÇÐÀÌ ½ÅûÇÑ ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡Çß´Ù.

À̸¦ µÎ°í ÀϺ» ±â¾÷ÀÇ ºÒ¾È°¨À» ÇؼÒÇϱâ À§ÇÑ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ÀϽÃÀû Á¶Ä¡¶ó´Â °ßÇØ°¡ ¸¹´Ù.

ÇöÀç ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷µéÀº ¾ç±¹ °£ °æÁ¦ °¥µî ÇÇÇظ¦ ÃÖ¼ÒÈ­Çϱâ À§ÇØ ÇØ¿Ü °øÀå »ý»ê·® È®´ë, Çѱ¹ °øÀå¿¡¼­ÀÇ Áõ»êÀ» °ËÅäÇϴ µî ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ µ¹ÀÔÇÑ »óȲÀÌ´Ù.

¸ð¸®Å¸È­Çаø¾÷Àº Áß±¹ »óÇÏÀÌ¿Í ÀåÀÚ¿¡ ´ë±Ô¸ð ¿¡Äª°¡½º »ý»ê½Ã¼³À» È°¿ëÇØ Çѱ¹ ¼öÃâ ÆǷθ¦ °³Ã´ÇÒ °èȹÀΠ°ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

¸ð¸®Å¸È­Çаø¾÷Àº ±×°£ Áß±¹ °øÀå¿¡¼­ Àú¼øµµ ¿¡Äª°¡½º¸¦ »ý»êÇØ ÀϺ» °øÀå¿¡¼­ ¼øµµ¸¦ ³ôÀ̴ ÀÛ¾÷À» ÁøÇàÇßÁö¸¸, ¿Ã ÇϹݱâ Áß±¹ °øÀåÁõ¼³À» ¿Ï°øÇϸé ÇöÁö¿¡¼­µµ °í¼øµµ ¿¡Äª°¡½º »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.À̸¦ Çѱ¹À¸·Î ÃâÇÏÇϰųª »ï¼ºÀüÀÚ Áß±¹ °øÀå¿¡ ³³Ç°Çϴ ¹æ¾ÈÀ» ±àÁ¤ÀûÀ¸·Î °ËÅäÇϴ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

½ºÅÚ¶óÄɹÌÆĴ ¿¡Äª°¡½º Àü·®À» Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇϸç ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº ¸¸Å­, °Å·¡Ã³ À¯Áö¸¦ À§ÇÑ ÇØ¿Ü °øÀå Áõ»ê µîÀ» ´Ù°¢ÀûÀ¸·Î °ËÅäÁß ÀΰÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ½Ì°¡Æ÷¸£, Áß±¹ ÀúÀ强 µî¿¡ º¸À¯ÇÏ°í Àִ ÀÚȸ»ç »ý»ê½Ã¼³À» Àû±Ø È°¿ëÇϴ ±¸»óÀÌ´Ù.

µµÄì¿ÀÄ«°ø¾÷Àº Çѱ¹ »ý»ê½Ã¼³¿¡¼­ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® »ý»êÀ» È®´ëÇØ À¯¿¬ÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÒ ¹æħÀΠ°ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ±×°£ ÀÎõ ¼Ûµµ¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ý»ê °øÀå¿¡¼­ ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë ·¹Áö½ºÆ® ÀϺθ¦ »ý»êÇØ Çѱ¹ ±â¾÷¿¡ ³³Ç°ÇØ ¿ÔÀ¸³ª, À̹ø »çŸ¦ °è±â·Î Çѱ¹¿¡¼­ Áõ»êÀ» °í·ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç±â¾÷ µ¿Çâ¿¡ ´ëÇØ IITP´Â "±Û·Î¹ú °ø±Þ¸ÁÀÌ À¯±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÅ Àִ »óȲ¿¡¼­ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ À̹ø Á¶Ä¡´Â ÀÚ±¹ ±â¾÷ÀÇ ¸ÅÃâ °¨¼Ò, ½ÇÀû Ç϶ôÀ» ÃÊ·¡ÇÒ ¼ö Àִٴ À§±â°¨À¸·Î ¿¬°áµÆ´Ù"¸ç "ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷Àº ÀÌ¿¡ ´ëÀÀÇØ ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

¿ì¸® Á¤ºÎµµ À̹ø »çŸ¦ ¾öÁßÈ÷ Á÷½ÃÇϸ砼ÒÀ砺оߴ ¹°·Ð ºÎÇ°·Àåºñ ¾÷°è°¡ ÇÇÇظ¦ ÃÖ¼ÒÈ­ÇÒ ¼ö Àִ ±Ùº»Àû ´ëÃ¥À» ¸¶·ÃÇؾߠÇѴٴ ¸ñ¼Ò¸®°¡ ³ª¿Â´Ù.

IITP´Â "´ëü °ø±Þ¸ÁÀ» È®º¸ÇÏ°í ´Ùº¯È­¸¦ ¸ð»öÇϴ µ¿½Ã¿¡ Ã·´Ü»ê¾÷ÀÇ ºÎÇ°·¼ÒÀç ÀÚ»ý·ÂÀ» ³ôÀÏ ¼ö Àִ ±¹»êÈ­ Å×½ºÆ®¿¡ °ú°¨ÇÑ ÅõÀÚ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"¸ç "ÇÇÇØ ±â¾÷¿¡ ÀڱݠÁö¿ø È®´ë, ¼¼Á¦ÇýÅûӠ¾Æ´Ï¶ó Àå±âÀûÀ¸·Î Ã·´Ü ºÎÇ°·¼ÒÀç·Àåºñ ºÐ¾ß Áß¼Ò±â¾÷ À°¼ºÀ» À§ÇØ ¹Î°üÀÇ ÃÊ´çÀû Çù·Â °­È­°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.

¾Æ¿ï·¯ "ÃßÈÄ Çù»óÀ̳ª Á¦Àç °­È­ °¡´É¼º µî ¿©·¯ °¡Áö ½Ã³ª¸®¿À¿¡ ´ëºñÇØ ´ë³»¿ÜÀû »óȲÀ» Ã¶ÀúÈ÷ ¸ð´ÏÅ͸µÇϸ破ëÀÀ Å¼¼¿¡ ¸¸ÀüÀ» ±â¿ï¿©¾ß ÇÑ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

ÃæûºñÁî  thecm11@naver.com

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÃæûºñÁî, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

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