ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷µéÀÌ ÀÚ±¹ Á¤ºÎÀÇ Çѱ¹ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ °È¿¡ µû¸¥ ºÎ´ã °¡ÁßÀ» ¿ì·ÁÇØ ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
18ÀÏ Á¤º¸Åë½Å±âȹÆò°¡¿ø(IITP)¿¡ µû¸£¸é ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÈÀÌÆ®¸®½ºÆ®¿¡¼ Çѱ¹À» ¹èÁ¦ Á¶Ä¡ÇÑ ÀÌÈÄ ÀϺ» ±â¾÷µµ ¼öÃâ °ü·Ã ¾÷¹«°¡ Å©°Ô Áõ°¡ÇÏ¸é¼ Á¦3±¹À» ÀÌ¿ëÇØ ¿ìȸÀûÀ¸·Î ¼öÃâ È°·Î¸¦ ¸ð»öÇϱ⠽ÃÀÛÇÑ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ÀϺ» ±â¾÷Àº Çѱ¹À¸·Î ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ ¼öÃ⠽à ¸¹Àº ÀýÂ÷¿Í ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµÇ°í Á¤ºÎÀÇ ½ÂÀÎ ¿©ºÎµµ ºÒÈ®½ÇÇÑ »óȲ¿¡ Á÷¸éÇÏ¸é¼ ¸ÅÃâ °¨¼Ò»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àå±âÀûÀ¸·Î ´ëÇü °Å·¡Ã³ »ó½ÇÀ̶ó´Â ºÒ¾È°¨ÀÌ Áõ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ µî Çѱ¹ ÁÖ¿ä ±â¾÷ÀÌ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ®·¿¡Äª°¡½º¸¦ ºñ·ÔÇÑ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ÇÙ½É Ç°¸ñÀÇ °ø±Þó ´Ùº¯È·±¹»êÈ¿¡ ³ª¼± °Íµµ ÀϺ» ±â¾÷¿¡°Ô À§±â°¨À¸·Î ÀÛ¿ëÇÑ °ÍÀ̶õ ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Â´Ù.
ÀÌ·± »óȲ¿¡¼ ÀϺ» Á¤ºÎ´Â ¼öÃâ ±ÔÁ¦ °È Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ ¾à ÇÑ´Þ ¸¸ÀÎ Áö³ 7ÀÏ ½Å¿¡¾²ÈÇÐÀÌ ½ÅûÇÑ ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡Çß´Ù.
À̸¦ µÎ°í ÀϺ» ±â¾÷ÀÇ ºÒ¾È°¨À» ÇؼÒÇϱâ À§ÇÑ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ÀϽÃÀû Á¶Ä¡¶ó´Â °ßÇØ°¡ ¸¹´Ù.
ÇöÀç ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷µéÀº ¾ç±¹ °£ °æÁ¦ °¥µî ÇÇÇظ¦ ÃÖ¼ÒÈÇϱâ À§ÇØ ÇØ¿Ü °øÀå »ý»ê·® È®´ë, Çѱ¹ °øÀå¿¡¼ÀÇ Áõ»êÀ» °ËÅäÇÏ´Â µî ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ µ¹ÀÔÇÑ »óȲÀÌ´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇаø¾÷Àº Áß±¹ »óÇÏÀÌ¿Í ÀåÀÚ¿¡ ´ë±Ô¸ð ¿¡Äª°¡½º »ý»ê½Ã¼³À» È°¿ëÇØ Çѱ¹ ¼öÃâ ÆǷθ¦ °³Ã´ÇÒ °èȹÀÎ °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
¸ð¸®Å¸ÈÇаø¾÷Àº ±×°£ Áß±¹ °øÀå¿¡¼ Àú¼øµµ ¿¡Äª°¡½º¸¦ »ý»êÇØ ÀϺ» °øÀå¿¡¼ ¼øµµ¸¦ ³ôÀÌ´Â ÀÛ¾÷À» ÁøÇàÇßÁö¸¸, ¿Ã ÇϹݱâ Áß±¹ °øÀåÁõ¼³À» ¿Ï°øÇϸé ÇöÁö¿¡¼µµ °í¼øµµ ¿¡Äª°¡½º »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.À̸¦ Çѱ¹À¸·Î ÃâÇÏÇϰųª »ï¼ºÀüÀÚ Áß±¹ °øÀå¿¡ ³³Ç°ÇÏ´Â ¹æ¾ÈÀ» ±àÁ¤ÀûÀ¸·Î °ËÅäÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
½ºÅÚ¶óÄɹÌÆÄ´Â ¿¡Äª°¡½º Àü·®À» Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÇϸç ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº ¸¸Å, °Å·¡Ã³ À¯Áö¸¦ À§ÇÑ ÇØ¿Ü °øÀå Áõ»ê µîÀ» ´Ù°¢ÀûÀ¸·Î °ËÅäÁß ÀΰÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù. ½Ì°¡Æ÷¸£, Áß±¹ ÀúÀ强 µî¿¡ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÚȸ»ç »ý»ê½Ã¼³À» Àû±Ø È°¿ëÇÏ´Â ±¸»óÀÌ´Ù.
µµÄì¿ÀÄ«°ø¾÷Àº Çѱ¹ »ý»ê½Ã¼³¿¡¼ Æ÷Åä ·¹Áö½ºÆ® »ý»êÀ» È®´ëÇØ À¯¿¬ÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÒ ¹æħÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. ±×°£ ÀÎõ ¼Ûµµ¿¡ À§Ä¡ÇÑ »ý»ê °øÀå¿¡¼ ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë ·¹Áö½ºÆ® ÀϺθ¦ »ý»êÇØ Çѱ¹ ±â¾÷¿¡ ³³Ç°ÇØ ¿ÔÀ¸³ª, À̹ø »çŸ¦ °è±â·Î Çѱ¹¿¡¼ Áõ»êÀ» °í·ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç±â¾÷ µ¿Çâ¿¡ ´ëÇØ IITP´Â "±Û·Î¹ú °ø±Þ¸ÁÀÌ À¯±âÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÅ ÀÖ´Â »óȲ¿¡¼ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ À̹ø Á¶Ä¡´Â ÀÚ±¹ ±â¾÷ÀÇ ¸ÅÃâ °¨¼Ò, ½ÇÀû Ç϶ôÀ» ÃÊ·¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â À§±â°¨À¸·Î ¿¬°áµÆ´Ù"¸ç "ÀϺ» ÁÖ¿ä ¼ÒÀç ±â¾÷Àº ÀÌ¿¡ ´ëÀÀÇØ ÀÚ±¸Ã¥ ¸¶·Ã¿¡ µ¹ÀÔÇß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ì¸® Á¤ºÎµµ À̹ø »çŸ¦ ¾öÁßÈ÷ Á÷½ÃÇÏ¸ç ¼ÒÀç ºÐ¾ß´Â ¹°·Ð ºÎÇ°·Àåºñ ¾÷°è°¡ ÇÇÇظ¦ ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±Ùº»Àû ´ëÃ¥À» ¸¶·ÃÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â ¸ñ¼Ò¸®°¡ ³ª¿Â´Ù.
IITP´Â "´ëü °ø±Þ¸ÁÀ» È®º¸ÇÏ°í ´Ùº¯È¸¦ ¸ð»öÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ ÷´Ü»ê¾÷ÀÇ ºÎÇ°·¼ÒÀç ÀÚ»ý·ÂÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ±¹»êÈ Å×½ºÆ®¿¡ °ú°¨ÇÑ ÅõÀÚ°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"¸ç "ÇÇÇØ ±â¾÷¿¡ ÀÚ±Ý Áö¿ø È®´ë, ¼¼Á¦ÇýÅÃ»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àå±âÀûÀ¸·Î ÷´Ü ºÎÇ°·¼ÒÀç·Àåºñ ºÐ¾ß Áß¼Ò±â¾÷ À°¼ºÀ» À§ÇØ ¹Î°üÀÇ ÃÊ´çÀû Çù·Â °È°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.
¾Æ¿ï·¯ "ÃßÈÄ Çù»óÀ̳ª Á¦Àç °È °¡´É¼º µî ¿©·¯ °¡Áö ½Ã³ª¸®¿À¿¡ ´ëºñÇØ ´ë³»¿ÜÀû »óȲÀ» öÀúÈ÷ ¸ð´ÏÅ͸µÇÏ¸ç ´ëÀÀ ż¼¿¡ ¸¸ÀüÀ» ±â¿ï¿©¾ß ÇÑ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÃæûºñÁî thecm11@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÃæûºñÁî, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>