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»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ´Â ±Û·Î¹ú È­ÇмÒÀç ±â¾÷ÀΠµàÆùÀÌ ±¹³»¿¡ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3´ë Ç°¸ñ °¡¿îµ¥ ÇϳªÀΠÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤Á¦) °³¹ß·»ý»ê½Ã¼³ ±¸Ãà¿¡ ³ª¼±´Ù°í 9ÀÏ ¹àÇû´Ù.

¼ºÀ±¸ð »ê¾÷ºÎ Àå°üÀº 8ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ ÇöÁö¿¡¼­ Á¸ ÄÍÇÁ µàÆù »çÀå°ú °³º°¸é´ãÀ» ÅëÇØ ÀÌ·± ³»¿ëÀ» °ñÀڷΠÇϴ Çѱ¹ ÅõÀÚ¸¦ ÃÖÁ¾ È®Á¤Çß´Ù.

µàÆùÀº ¹ÝµµÃ¼¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿Í ´Éµ¿ÇüÀ¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå(AMOLED·¾Æ¸ô·¹µå) ¹× È­ÇÐÁ¦Ç° µîÀ» »ý»êÇϴ ±â¾÷À¸·Î ÇöÀç Àü ¼¼°è 70¿©°³±¹¿¡ 163°³ ÀÚȸ»ç¸¦ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

À̳¯ Á¸ ÄÍÇÁ »çÀåÀº ¼º Àå°ü°ú ÇÔ²² ÀÚ¸®ÇÑ Àå»óÇö ÄÚÆ®¶ó Àκ£½ºÆ® ÄÚ¸®¾Æ ´ëÇ¥¿¡°Ô 2800¸¸ ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ½Å°í¼­¸¦ Á¦ÃâÇß´Ù.

ÅõÀÚ°èȹÀ» º¸¸é µàÆùÀº 2021³â±îÁö Ãæ³² Ãµ¾È¿¡ EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß °³¹ß·»ý»ê°ú ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ(±âÆÇ) ¿¬¸¶ÀçÀΠCMP Æе堻ý»êÀ» À§ÇÑ ½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÏ°Ô µÈ´Ù.

EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇϴ Æ÷Åä ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °¨±¤¼º Àç·á·Î ÆÄÀåÀ̠ªÀ»¼ö·Ï ¹Ì¼¼È­ °øÁ¤¿¡ À¯¸®ÇÏ´Ù.

µàÆùÀº Çѱ¹ ÀÚȸ»çÀΠ·Ò¿£µåÇϽºÀüÀÚÀç·áÄÚ¸®¾Æ¸¦ ÅëÇØ 1998³âºÎÅ͠õ¾È¿¡ 2°³ °øÀåÀ» °¡µ¿ÇØ ¹ÝµµÃ¼ È¸·Î±âÆÇ¿ë ¼ÒÀç·ºÎÇ°À» »ý»êÇØ¿Ô´Ù. ÇöÀç »ý»ê Á¦Ç°Àº ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF), ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ºû¹Ý»ç¹æÁö¸·Á¦, ±Ý¼Ó¹Ú¸·µµ±Ý, À¯Àüü, Å¬¸®´× È­ÇÐÁ¦Ç° µîÀÌ´Ù.

µàÆùÀº À̹ø ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ±Ø¼ÒÇüÈ­¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°·±â¼ú °³¹ß ¹× °ø±Þ ´Ùº¯È­ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

Á¸ ÄÍÇÁ »çÀåÀº ÅõÀÚ½Å°í¼­¸¦ Á¦ÃâÇϴ ÀÚ¸®¿¡¼­ "EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °³¹ß°ú »ý»êÀ» À§ÇØ ¾ÕÀ¸·Î Çѱ¹ ³» ÁÖ¿ä ¼ö¿ä¾÷ü¿Í Á¦Ç° ½ÇÁõÅ×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇϴ µî ±ä¹ÐÈ÷ Çù·ÂÇØ ³ª°¥ °èȹ"À̶ó°í ¹àÇû´Ù.

¼º Àå°üÀº "ÃÖ±Ù ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿¡ ´ëÇѠƯÁ¤ Æ÷°ýÇã°¡¸¦ Çã¿ëÇϴ µî ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ÇØ°á¿¡ ÀϺΠÁøÀüÀÌ ÀÖ¾úÁö¸¸ ±Ùº»ÀûÀΠÇØ°á ¹æ¾ÈÀ¸·Î º¸±â´Â ¾î·Æ´Ù"¸ç "Á¤ºÎ´Â Çٽɠ¼ÒÀç·ºÎÇ°·Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ±â¼ú °æÀï·Â È®º¸¿Í °ø±Þ¼± ´Ùº¯È­¸¦ °è¼ÓÇؼ­ ÃßÁøÇÏ°Ú´Ù"°í ÀüÇß´Ù.

»ê¾÷ºÎ´Â Áö³­ÇØ 7¿ù ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ Çٽɠ¼ÒÀç·ºÎÇ°·Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ ¾ÈÁ¤È­¸¦ À§ÇØ µàÆù°ú Á÷Á¢ Á¢ÃËÇØ ÅõÀÚÀ¯Ä¡¸¦ ÇùÀÇÇØ¿Ô´Ù. »ê¾÷ºÎ ÃøÀº À̹ø ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ÅëÇØ ÀϺ» ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇØ ¿Â Ç°¸ñÀÇ °ø±Þ¼±À» ´Ùº¯È­ÇÒ ¼ö Àִٴ Á¡¿¡ ÀÇÀÇ°¡ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.

»ê¾÷ºÎ °ü°èÀڴ "Á¤ºÎ¿Í Áö¹æÀÚÄ¡´Üü, ÄÚÆ®¶ó°¡ ¿øÆÀÀ¸·Î ÅõÀÚ Çù»óÀ» ÁøÇàÇØ °æÀï±¹À» Á¦Ä¡°í ÃÖÁ¾ ÅõÀÚó·Î ¼±Á¤µÆ´Ù"¸ç "Á¤ºÎ¿Í ÇØ´ç ÁöÀÚü´Â ÅõÀÚ °úÁ¤¿¡¼­ ¾Ö·Î»çÇ× ÇؼÒ, Àμ¾Æ¼ºê Áö¿ø µîÀÌ Â÷Áú ¾øÀÌ ÀÌ·ç¾îÁöµµ·Ï ³ë·ÂÇÒ ¿¹Á¤"À̶ó°í ÀüÇß´Ù.

ÇÑÆí ¼º Àå°üÀº 9ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼­ ¿­¸° 'ÅõÀÚ°¡ ¶ó¿îµåÅ×À̺í'¿¡¼­ Çѱ¹ ÅõÀÚ¿¡ °ü½ÉÀ» °¡Áö°í Àִ ¹Ì±¹ ÅõÀÚ°¡µéÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÅõÀÚ À¯Ä¡ È°µ¿À» ÁøÇàÇß´Ù.

»ê¾÷ºÎ¿¡ µû¸£¸é Âü¼® ±â¾÷µéÀº ¿ì¸® Á¤ºÎÀÇ ¼ö¼Ò°æÁ¦ È°¼ºÈ­ ·Îµå¸Ê°ú Çٽɠ¼ÒÀç·ºÎÇ°·Àåºñ °æÀï·Â °­È­ ´ëÃ¥ µî¿¡ °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù. Æ¯È÷ ÇÑ ¼ö¼ÒÂ÷ °ü·Ã ¼ÒÀç±â¾÷Àº ±¹³» ¼ö¿ä±â¾÷°úÀÇ Çù·Â °¡´É¼ºÀ» °í·ÁÇØ Çѱ¹¿¡ »ý»ê½Ã¼³À» ±¸ÃàÇϴ ÅõÀÚ¸¦ °í·ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇô¿Ô´Ù.

¼º Àå°üÀº "Á¤ºÎ´Â ¿Ü±¹ÀΠÅõÀÚ¿¡ ´ëÇÑ Áö¿øÀ» ¾Æ³¢Áö ¾ÊÀ» ¿¹Á¤"À̶ó°í ¾ð±ÞÇß´Ù.

»ê¾÷ºÎ´Â ¿ÜÅõ±â¾÷ÀÇ ¹ÌóºÐ ÀÌÀÍÀ׿©±Ý¿¡ ´ëÇÑ Á÷Á¢ÅõÀÚ ÀÎÁ¤, ¼ÒÀç·ºÎÇ°·Àåºñ ºÐ¾ß Çö±ÝÁö¿ø È®´ë µî ¿Ü±¹ÀÎÅõÀÚ È°¼ºÈ­¸¦ À§ÇÑ Á¦µµ °³¼±À» ÃßÁøÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

´º½Ã½º  newsis.com

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