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»ï¼ºÀüÀÚ, ÆòÅÿ¡ 'EUV ÆÄ¿îµå¸®' ¸¸µç´Ù

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±âµµ È­¼º¿¡ À̾î ÆòÅàķÆÛ½º¿¡µµ 7Á¶¿øÀ» ÅõÀÚ, 5³ª³ë '±ØÀڿܼ±(EUV) ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ'À» ±¸ÃàÇÑ´Ù.

´Ã¾î³ª´Â Ã·´Ü ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÇÏ°í '2030³â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 1À§' ¸ñÇ¥ ´Þ¼º¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇÑ Àü·« ÅõÀÚ´Ù.

À̹ø ÅõÀÚ °áÁ¤°ú °ü·ÃÇØ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº "¾î·Á¿î ¶§Àϼö·Ï ¹Ì·¡ ÅõÀÚ¸¦ ¸ØÃç¼­´Â ¾È µÈ´Ù"°í °­Á¶Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ 21ÀÏ ÆòÅàķÆÛ½º¿¡µµ EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀ» °®Ãá´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÆòÅàķÆÛ½º ½Å±Ô °øÀåÀΠ'P2'¿¡ ÆÄ¿îµå¸® ¼³ºñ°¡ ±¸ÃàµÈ´Ù.

¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÀÌ ¶óÀÎÀ» °®Ãߴ µ¥ 7Á¶¿ø ÀÌ»óÀÌ ÅõÀԵȴÙ.

Ãʱ⠾ç»ê ±Ô¸ð´Â 1¸¸5000Àå(15K)ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

ÆòÅàEUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀº ÀÌ´ÞºÎÅÍ Âø°ø, 2021³â ÇϹݱ⿡ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù.

ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¾÷ü ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ¾Æ Ä¨À» ´ë½Å »ý»êÇϴ »ç¾÷À» ÀÏÄ´´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ ±¹³» È­¼º·±âÈï °øÀå, ¹Ì±¹ ¿À½ºÆ¾ °øÀ堵¼­ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÃÖ±Ù ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¾÷°è´Â 5¼¼´ë(5G) À̵¿Åë½Å, °í¼º´ÉÄÄÇ»ÆÃ(HPC) µî ½Å±Ô ½ÃÀå È®»êÀ¸·Î Å©±â´Â ÀÛÀ¸¸é¼­ ±â´ÉÀº °íµµÈ­ÇѠĨÀ» ¸¸µé ¼ö Àִ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤À» ¼±È£ÇÑ´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ Áö³­ÇØ 4¿ù¿¡ ¹ßÇ¥ÇÑ '2030³â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 1À§' ºñÀüÀ» Åä´ë·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ µ¢Ä¡¸¦ Å°¿ì´Âµ¥ Àû±Ø ³ª¼­°í ÀÖ´Ù.

¶Ç ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è È¸»çÀÇ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ ¼ö¿ä¿¡ ¹ßºü¸£°Ô ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Ãʹ̼¼ °ø¹ýÀΠEUV °øÁ¤ µµÀÔÀÌ ´ëÇ¥ »ç·Ê´Ù.

±âÁ¸ÀÇ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) °øÁ¤º¸´Ù ÆÄÀå ±æÀÌ°¡ 14ºÐÀÇ 1 ÂªÀº EUV È°¿ë °øÁ¤À» ÆÄ¿îµå¸®¾÷°è¿¡¼­ °¡Àå ¸ÕÀú È°¿ëÇØ 7³ª³ë(§¬) Ä¨ ÀÌÇÏ »ý»êÀ» ±¸ÇöÇÑ´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ Áö³­ÇØ È­¼º S3 ¶óÀο¡¼­ EUV °øÁ¤ ¾ç»êÀ» Ã³À½ ¼º°øÇÑ µÚ ¿Ã 2¿ù EUV Àü¿ëÀΠȭ¼º V1 ¶óÀÎÀ» º»°Ý °¡µ¿Çϸ鼭 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù.

ÀÌÈÄ 3°³¿ù ¸¸¿¡ ÆòÅàķÆÛ½º±îÁö EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀΠȮ´ë¸¦ °áÁ¤ÇÑ °ÍÀ̾ ÁÖ¸ñµÈ´Ù.

ÃæûºñÁî  cbiz0419@naver.com

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