»ï¼ºÀüÀÚ°¡ °æ±âµµ ȼº¿¡ À̾î ÆòÅà ķÆÛ½º¿¡µµ 7Á¶¿øÀ» ÅõÀÚ, 5³ª³ë '±ØÀڿܼ±(EUV) ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ'À» ±¸ÃàÇÑ´Ù.
´Ã¾î³ª´Â ÷´Ü ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÇÏ°í '2030³â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 1À§' ¸ñÇ¥ ´Þ¼º¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³ôÀ̱â À§ÇÑ Àü·« ÅõÀÚ´Ù.
À̹ø ÅõÀÚ °áÁ¤°ú °ü·ÃÇØ ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº "¾î·Á¿î ¶§Àϼö·Ï ¹Ì·¡ ÅõÀÚ¸¦ ¸ØÃç¼´Â ¾È µÈ´Ù"°í °Á¶Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 21ÀÏ ÆòÅà ķÆÛ½º¿¡µµ EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀ» °®Ãá´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÆòÅà ķÆÛ½º ½Å±Ô °øÀåÀÎ 'P2'¿¡ ÆÄ¿îµå¸® ¼³ºñ°¡ ±¸ÃàµÈ´Ù.
¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÀÌ ¶óÀÎÀ» °®Ãß´Â µ¥ 7Á¶¿ø ÀÌ»óÀÌ ÅõÀԵȴÙ.
Ãʱ⠾ç»ê ±Ô¸ð´Â 1¸¸5000Àå(15K)ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÆòÅà EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎÀº ÀÌ´ÞºÎÅÍ Âø°ø, 2021³â ÇϹݱ⿡ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù.
ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷Àº ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¾÷ü ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ¾Æ ĨÀ» ´ë½Å »ý»êÇÏ´Â »ç¾÷À» ÀÏÄ´´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ±¹³» ȼº·±âÈï °øÀå, ¹Ì±¹ ¿À½ºÆ¾ °øÀå µî¿¡¼ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷À» ¿µÀ§ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÃÖ±Ù ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¾÷°è´Â 5¼¼´ë(5G) À̵¿Åë½Å, °í¼º´ÉÄÄÇ»ÆÃ(HPC) µî ½Å±Ô ½ÃÀå È®»êÀ¸·Î Å©±â´Â ÀÛÀ¸¸é¼ ±â´ÉÀº °íµµÈÇÑ Ä¨À» ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤À» ¼±È£ÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù¿¡ ¹ßÇ¥ÇÑ '2030³â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 1À§' ºñÀüÀ» Åä´ë·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ µ¢Ä¡¸¦ Å°¿ì´Âµ¥ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
¶Ç ¹ÝµµÃ¼ ¼³°è ȸ»çÀÇ ¹Ì¼¼ °øÁ¤ ¼ö¿ä¿¡ ¹ßºü¸£°Ô ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Ãʹ̼¼ °ø¹ýÀÎ EUV °øÁ¤ µµÀÔÀÌ ´ëÇ¥ »ç·Ê´Ù.
±âÁ¸ÀÇ ºÒȾƸ£°ï(ArF) °øÁ¤º¸´Ù ÆÄÀå ±æÀÌ°¡ 14ºÐÀÇ 1 ªÀº EUV È°¿ë °øÁ¤À» ÆÄ¿îµå¸®¾÷°è¿¡¼ °¡Àå ¸ÕÀú È°¿ëÇØ 7³ª³ë(§¬) Ĩ ÀÌÇÏ »ý»êÀ» ±¸ÇöÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ È¼º S3 ¶óÀο¡¼ EUV °øÁ¤ ¾ç»êÀ» óÀ½ ¼º°øÇÑ µÚ ¿Ã 2¿ù EUV Àü¿ëÀΠȼº V1 ¶óÀÎÀ» º»°Ý °¡µ¿ÇÏ¸é¼ 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù.
ÀÌÈÄ 3°³¿ù ¸¸¿¡ ÆòÅà ķÆÛ½º±îÁö EUV ÆÄ¿îµå¸® ¶óÀÎ È®´ë¸¦ °áÁ¤ÇÑ °ÍÀÌ¾î¼ ÁÖ¸ñµÈ´Ù.
ÃæûºñÁî cbiz0419@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÃæûºñÁî, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>