▲ KRISS 가스분석표준그룹 연구진이 고순도 가스 순도분석 연구를 진행하고 있는 모습.

한국표준과학연구원(KRISS)이 소재·부품·장비(이하 소부장) 기술독립을 위한 연구개발에 속도를 낸다.

13일 표준연은 소부장 산업 발전의 기반이 되는 국산연구장비 활용도 제고 및 성능 고도화사업을 강화하고 개발연구장비 시연 연구실인 '오픈 이노베이션랩'을 개소한다고 밝혔다.

이를 위해 먼저 표준연은 지난 1월 개소한 국산연구장비활용랩을 본원으로 확장 이전하고 국산연구장비를 추가해 서비스 확장에 나섰다.

이 곳에는 반도체 핵심소재인 웨이퍼의 휨이나 크랙(상처), 오염 등에 대한 3D 검사가 가능한 자유공명측정기, 융복합현미경 등 기업체에서 개발한 첨단 연구장비 11종을 구비하고 있으며 이를 국내 중소기업과 연구자들에게 무상으로 활용토록 제공한다.

또 연구자를 상대로 국산연구 장비 사용법에 대한 교육을 실시하고 국산장비에 대한 선입견 제거, 판로개척 지원 등의 역할도 한다.

표준연은 이 곳의 국산연구장비를 점차 보강해 활용서비스를 확대하고 내년부터는 유망 국산 연구장비의 성능평가 및 성능개선 사업을 추진해 국산장비의 성능을 평가한 뒤 객관적 데이터를 확보해 나간다는 방침이다.

이와 함께 13일 '오픈 이노베이션랩'을 개소하고 본격 가동에 들어갔다.

이 곳은 디스플레이두께측정장비, 반도체박막두께측정장비 등 표준연서 자체개발해 11종의 첨단 연구장비가 구비돼 있다.

개방형 연구실인 이노베이션랩을 다양한 분야 장비 개발자들의 소통공간으로 활용하면서 융합연구를 촉진하고 개발장비의 상용화를 꾀한다는 복안이다.

특히 향후 표준연은 이 곳에서 장비를 개발하거나, 개발된 장비를 테스트하는 연구진에 연구개발 예산을 지원하고 장비 상용화를 위해 연구장비 개발업체와 연계, 장비를 개발할 수 있는 산·연 공동연구개발사업도 추진할 계획이다.

인력양성에도 힘써 현재 표준연은 이공계 졸업생 10명을 선발해 지난 3월부터 연구장비 SW개발 교육을 진행 중이며 올 하반기부터는 연구장비 기업 재직를 상대로도 SW개발 역량교육을 추진할 예정이다.

연세대학교 융합대학원과는 '학연교수 제도' 운영을 골자로 하는 MOU를 맺어 9월부터 공동으로 융합반도체 협동과정을 개설, 반도체 원천소재 및 측정표준분야 연구를 진행키로 했다.

이에 앞서 표준연은 지난해 '반도체 물성측정 공정진단'분야 국가연구실(N-LAB)으로 지정된 반도체측정장비팀을 통해 지난 2019년 일본의 수출규제 문제가 발생한 뒤 외산 장비와 국산 장비의 성능 비교작업 등을 수행해 국산 장비의 뛰어난 성능을 입증, 국산 장비 사용확대에 큰 공을 세웠다.

또한 반도체측정장비팀은 지난 5월에는 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 밀도측정 기술을 세계 최초로 개발하기도 했다.

이는 웨이퍼 공정결과에 직접적인 영향을 주는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있는 기술로 측정불확도 2% 이내로 세계최고 수준이다.

앞으로 반도체측정장비팀은 기기에 센서가 내장된 '지능형 식각공정 장비' 개발을 추진할 예정이다.

가스분석표준그룹도 불순물 분석에 필요한 가스인증표준물질인 표준가스를 자체 개발하고 생산 능력을 갖춰 국산 불화수소를 포함한 반도체용 가스 소재에 대한 품질검증을 통해 불화수소 국산화에 큰 역할을 해냈다.

표준연 박현민 원장은 "세계 최고 수준의 측정표준·측정과학기술 역량과 인프라로 국산장비 성능검증, 측정연구장비 개발, 맞춤형 인재양성까지 소부장 분야 전주기 지원을 철저히 추진하겠다"면서 "이를 통해 대한민국 소부장 경쟁력 강화에 힘을 보탤 것"이라고 말했다.

충청비즈  cbiz0419@naver.com

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