태양에너지라 불리는 플라즈마가 일상생활 속에서 주요 자원으로 활용되면서 최근 관련 특허 출원이 폭증하고 있는 것으로 나타났다.

3일 특허청에 따르면 최근 5년간 플라즈마 관련 특허출원은 2012년 15건에서 2013년 38건, 2014년 51건, 2015년 122건, 지난해 165건으로 급격한 상승세를 보이고 있다.

플라즈마 출원인별로는 내국인이 2013년까지는 전무한 상태였다 2014년 3건, 2015년 75건, 2016년 108건으로 매년 60% 이상 성장하면서 2015년부터 외국인 출원을 크게 앞지르고 있다.

내국인 출원인별 분석에서는 산업체가 145건, 대학 18건, 연구소 13건, 개인 10건 등으로 집계됐다.

기술분야에서는 반도체 생산을 위한 반도체 표면공정과 같은 표면 처리용 플라즈마 처리장치가 2012년 4건에서 2014년 28건, 2016년 136건으로 급증, 5년간 플라즈마 출원 기술 분야의 대부분인 72%를 차지하고 있다. 이어 플라즈마 발생장치가 같은 기간 62건, 플라즈마 이용검사장치가 46건으로 뒤를 이었다.

플라즈마는 전기적 성질을 띤 전자, 이온, 중성 입자로 구성돼 있어 전기장과 자기장에 의한 제어가 가능하기 때문에 다양한 분야에 응용될 수 있다.

플라즈마를 이용한 표면처리 기술은 기체상태의 입자를 기판이나 물건의 표면에 쏘아 절연막 또는 전도성 막 등의 얇은 막을 형성하는 기술로 종래의 증착 방식에 비해 낮은 온도에서 작업이 가능하고 막의 두께를 균일하게 조절할 수 있으며 세밀하게 의도하는 형태로 만들 수 있다.
 
따라서 플라즈마 기술을 표면처리에 적용하면 대량 처리가 가능하고 독성이 강한 액체 화학약품을 사용하지 않아 공해유발 공정이나 난공정 등을 대체할 수 있는 환경 친화적인 기술이라는 장점을 가지고 있다.

특허청은 이런 장점들을 활용해 반도체 고밀도 집적회로 등 정밀한 제조공정과 디스플레이, 플라즈마 표면처리를 거친 유리창, 플라즈마 처리 섬유 등 산업 공정 곳곳에서 플라즈마가 활용되는 것은 물론 환경, 식품, 바이오, 의료, 미용분야 등 폭넓게 적용이 가능해 생활변화를 이끄는 첨병역할을 할 것으로 보고 있다.

특허청 성백문 전력기술심사과장은 "반도체 및 디스플레이 산업에서 플라즈마 관련 기술의 활용도가 꾸준히 높아지고 있고 바이오 분야, 환경 분야 등으로 점차 수요를 확대하고 있다"며 "플라즈마 관련 기술에 대한 출원은 당분간 꾸준히 증가할 것으로 예상된다"고 말했다.

충청비즈  thecm11@naver.com

<저작권자 © 충청비즈, 무단 전재 및 재배포 금지>