국가핵융합연구소는 25일 본관동 2층 대회의실에서 평판디스플레이(FPD) 및 박막 태양전지 장비를 개발하는 ㈜아바코(대표이사 김광현)와 기술이전 협약을 체결했다고 밝혔다.

연구소는 자체 개발한 전자 사이클로트론 공명 원리로 플라즈마를 발생시키는 'ECR플라즈마를 활용한 스퍼터' 기술을 이전했다.

스퍼터는 플라즈마 내 이온을 가속해 타켓(Target)에 충돌시켜 원자들을 튀어 나오게 하는 원리로 반도체, 디스플레이 생산라인의 박막증착 공정에 활용할 수 있다.

기존보다 대면적 패널에 고품질의 박막을 균일하게 형성할 수 있어 OLED, 플렉서블 디스플레이 등 차세대 디스플레이 생산에 효과적으로 사용할 수 있을 것으로 기대된다.

김기만 핵융합연구소장은 "국내 중소·중견 기업과의 지속적인 협력을 통해 연구소에서 보유하고 있는 우수한 플라즈마 기술이 차세대 반도체 및 디스플레이 산업분야에 사업화되는 모범 사례"라며 "앞으로도 플라즈마 기술이 다양한 산업에 적용될 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.

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